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单晶SiC基片超精密磨粒加工机理研究
单晶SiC基片超精密磨粒加工机理研究 ================== 发表时间:2019-11-18 16:14作者:九朋新材料 单晶SiC基片超精密磨粒加工机理研究 摘要 以集成电路(IC)和光电子器件制造为代表的微电子和光电子制造是电子信...
11-182019
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氮化镓晶片的CMP技术现状与趋势
氮化镓晶片的CMP技术现状与趋势
摘要: 综述了半导体材料氮化镓(GaN)抛光技术的发展,介绍了GaN晶片化学机械平坦化(Chemical Mechanical Planarization,CMP)技术的研究现状,分析了CMP的原理和工艺参数对抛光的影响...
11-182019
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超大规模集成电路中钨插塞的化学机械抛光机理
超大规模集成电路中钨插塞的化学机械抛光机理
摘要 CMP 在半导体集成电路中是非常重要工艺,化学机械研磨同样是一个新型的工艺,在半导体生产的过程中起着举足轻重的作用,集成电路的前缘技术就是在低 k 介质材料基础...
11-182019
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半导体激光器芯片减薄、抛光工艺研究
半导体激光器芯片减薄、抛光工艺研究
摘要
目前在砷化镓半导体激光器的制备中,需要将衬底减薄到一定程度,衬底存在电阻,会产生发热现象,减薄后的衬底背面存在表面损伤层,导致减薄后的外延片变形且容易碎裂,从而...
11-182019
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半导体激光器芯片减薄、抛光工艺的思考
半导体激光器芯片减薄、抛光工艺的思考
发表时间:2019-11-18 16:14作者:九朋新材料
摘要:在半导体激光器芯片加工方面,采用传统的芯片减薄和抛光技术难以满足芯片加工要求。基于这种情况,文章提出采用摇摆式垂直...
11-182019
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半导体硅片双面超精密化学机械抛光的研究
半导体硅片双面超精密化学机械抛光的研究 =================== 发表时间:2019-11-18 16:14 半导体硅片双面超精密抛光的研究 摘要:为提高硅晶片双面超精密抛光的抛光速率,在分析双抛工艺过程基础上,采用自制大粒...
11-182019
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半导体材料低温无磨料超光滑表面抛光分析的研究
半导体材料低温无磨料超光滑表面抛光分析的研究 ====================== 发表时间:2019-11-18 16:14作者:九朋新材料 半导体材料低温无磨料超光滑表面抛光分析的研究 摘要 本文结合国家自然科学基金项目埃及超光滑...
11-182019
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二氧化锆材料的加工技术
二氧化锆材料的加工技术 =========== 发表时间:2019-11-18 16:16作者:九朋新材料 二氧化锆材料的加工技术 摘要 陶瓷材料种类很多,它具有熔点高、硬度高,化学稳定性高、耐高温、耐磨损、耐氧化、耐腐蚀,以及弹性...
11-182019
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石墨纳米带可取代硅成为半导体新材料吗
据美国《世界日报》报道,美国斯坦福大学化学系教授戴宏杰领导研究团队,发现石墨纳米带(graphene nanoribbon)可作为半导体晶体材料,此在未来可能整合于高表现计算机芯片,增加芯片速度与效能、降低耗热量,取代现...
11-182019
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氧化铈抛光全面解析及效果分析
氧化铈抛光全面解析及效果分析
随着光学技术和集成电路技术的迅猛发展,对光学元器件的精密和超精密抛光、集成电路的化学机械抛光技术的要求越来越高,甚至达到了极为苛刻的程度,尤其是在表面粗糙度和缺陷的控制方...
11-182019
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一种新型纳米超导材料
一种新型纳米超导材料 ========== 发表时间:2019-11-18 16:14作者:九朋新材料 纳米/新素材领域的2008年排名体现了对颠覆常识的新材料的期待。排名第一的是用电场效应晶体管将透明绝缘体转换成超导物质。名列第九位...
11-182019
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各大锂电池制造商的斗志 宁德时代牵手苹果令比亚迪承压
今年以来,宁德时代大动作连连,在动力电池领域称霸的野心昭然。前不久,宁德时代与上汽联姻成立两家合资公司,进一步完善新能源领域产业结构。 动力电池与新能源汽车休戚相关,宁德时代新能源科技有限公司(下称宁...
11-182019
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